等離子清洗機的原理及應(yīng)用

更新時間：2019-11-29 10:17:30 點擊次數(shù)：0 次

● 等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。
● 等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。
● 等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。
● 等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

■ 優(yōu)勢：

① 清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理；
② 用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
③ 避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法；
④ 等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
⑤ 可以使得清洗效率獲得極大的提高，整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成；

⑥ 需要控制的真空度約為100Pa，條件很容易達到。加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
⑦ 避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以場地很容易保持清潔衛(wèi)生；
⑧ 可以不分處理對象：無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗；
⑨在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

■ 工業(yè)應(yīng)用：

● 橡塑行業(yè) ● 紡織纖維行業(yè)

● 汽車行業(yè) ● 國防行業(yè)
1 點火線圈 1 航空航天電連接器
2 發(fā)動機油封片 2 凱夫拉處理

● 電子行業(yè) ● 醫(yī)療行業(yè)
1 硬盤塑料 1 靜脈輸液器
2 耳機聽筒 2 導(dǎo)尿管的處理
3 手機外殼

■ 適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機：
■ 用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
■ 特征
● DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡單的觸摸屏控制器

■ 小型、多段式等離子清洗機：

■ 用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 灰化、蝕刻處理
● 塑料封裝前處理
● 印刷基板鍍層前處理
● LED關(guān)聯(lián)部品處理
● 電子部品清洗
● 光刻膠剝離或表面殘留物去除
● 光學(xué)、金屬、機械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
● FCC對應(yīng)

■ 經(jīng)濟型等離子清洗機：

■ 用途
● 有機膜的去除（油、蠟等）
● 電子零件，光學(xué)零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理
● 細(xì)菌的消毒等
● 高分子材料表面的官能基付與→ 粘合性，密著性提高
● 提高各種聚合物的粘結(jié)性以及提高醫(yī)科齒科材料的生物相容性等
● 通過處理培養(yǎng)皿可以在其上均勻涂抹培養(yǎng)基等
● 有機高分子材料的蝕刻
● 促進種子發(fā)芽等實驗

■ 經(jīng)典型低溫等離子灰化機：

■ 用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
■ 特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

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